内容Rkz
6.电子工业排放6.5
6.1简介6.5
6.2方法问题
6.2.1方法的选择
6.2.1.1半导体、液晶显示器的蚀刻和CVD清洗太阳能光电板6.6
6.2.1.2传热流体6.13
6.2.2排放因子的选择
6.2.2.1半导体、液晶显示器和光伏的蚀刻和CVD清洗
6.2.2.2传热流体
6.2.3活动数据的选择
6.2.4完整性
6.2.5建立一致的时间序列
6.3不确定度评定
6.3.1排放因子不确定性
6.3.2活动数据的不确定性
6.4.1质量保证/质量控制(QA/QC
6.4.2报告和文档
参考6.31
方程
公式6.1 FC排放集估计的Tier 1方法
估算FC排放的Tier 2a方法
6.10 . CF4的副产物排放
C2F6副产物排放
chf3的副产物排放
C3F8的副产物排放
公式6.7 FC排放估计的Tier 2b方法
公式6.8 CF4的副产物排放6.12
式6.9 C2F6的副产物排放
CHF3的副产物排放
C3F8的副产物排放
公式6.12估算传热流体FC总排放量的第1层方法
估算传热流体FC排放的第2层方法
继续阅读:电子工业排放61简介
这篇文章有用吗?
