传热流体
有两种方法来估算排放量传热流体的使用。方法的选择取决于活动数据的可用性的使用传热流体,并概述了在决策树(参见图6.2中,决策树FC排放量的估算传热流体,参见1.5节第1章,选择质量平衡和排放因子的方法)。
一级-传热流体
一级是合适当公司特有的传热流体数据不可用。这是不准确的两种方法估算传热流体排放损失。与二级方法不同,该方法给出了一个估计的总排放量——所有液体FCs的加权平均排放表示为C6F1410的质量。计算依赖于一个通用的表达的平均排放因子
10没有GWP估计的情况下,适当的GWP C6F14一直作为一个代理(获得缺省排放因子)。(见美国温室气体和水槽的库存:1990 - 2003,表4-58的脚注,166页。(美国环境保护署,2005))
总排放单位的硅半导体制造过程中使用。这个公式方程6.12所示。
方程6.12
一级方法估算传热流体的FC排放总量
FCliquid总=英语*铜* Cd
地点:
FCliquid总= FC排放总量一样表达C6F14的质量,太C6F14
EFi =排放因子(人均排放的总FC Gm2期间消耗的硅的质量表示为C6F14(见表6.2)),太C6FM / Gm2
铜=平均产能利用率半导体生产设备期间,分数
Cd =设计能力的半导体制造设备,Gm2
二级方法——传热流体
有一个二级的实际排放量估算方法的使用每个FC流体。这个方法是一个massbalance方法占液体FC在年度期间使用。适当的时候公司数据是可用的。在过去的一年,液体FCs用于填补新购买的设备和取代FC流体损失通过蒸发设备操作。二级方法忽略了流体损失在填充新的或现有的设备或拆除旧设备(这些昂贵的液体是合理的)。11库存编译器应该从公司获得的化学成分的流体(s)排放估计。6.13方程表达的方法。
方程6.13
二级FC传热液体排放的估计方法
FC, = P•[/ t - 1(/) +坑(l) - 3月(l) + Rt (l) iu (l) di t (l)]
地点:
FCi =排放的FCi,公斤p =液体密度FCi,公斤/升
二世,我的库存(l) =液体FCi年底之前的时期,升
坑(l) =净购买液体FCi期间(净购买和任何的回报),升
幼虫(l) =总电荷(或铭牌容量)的新安装,升
罗切斯特理工学院的航拍(l) =总电荷(或铭牌容量)退休或出售设备,升
Iit (l) =库存液体FCi周期末,升
说(l) =数量的FCi恢复和发送离线退役设备期间,升
11传热流体的价格从$ 55 - 130 /升不等。3 m公司,制造商的一个受欢迎的传热流体估计年份2 000制造厂通过蒸发可能松1 900升/年。生产测试设备,使用传热流体报告亏损率约为30升/年/系统更新的设计,减少蒸发损失和老50公升/年/系统设计。
图6.2
决策树的估计FC排放HT流体损失从电子产品制造业
图6.2
估计使用二级排放的方法。
收集液体FC使用数据的公司。
估计使用一级排放的方法。
注意:
1。看到第一卷第四章,方法论的选择和识别关键类别(注意4.1.2节有限的资源),讨论关键的类别和使用决策树
继续阅读:为半导体蚀刻和CVD清洁
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